高真空度热重分析仪


一、仪器简介

高真空度热重分析仪是专门设计用于高真空环境下的热重分析仪器，真空度可达10⁻⁵ Pa甚至更高。该仪器采用分子泵或扩散泵系统，配备专用真空热重天平，能够在极高真空条件下精确测量材料的质量变化。高真空度热重分析仪广泛应用于航天航空材料脱气研究、真空热分解机理研究、先进材料制备等领域。


二、仪器功能用途

● 超高真空度
 极限真空度可达10⁻⁵ Pa以上，采用分子泵或扩散泵系统，真空保持时间长。
 ● 真空专用天平
 采用真空专用精密天平，在高真空环境下仍保持高灵敏度和高稳定性。
 ● 低出气材料
 炉腔和关键部件采用低出气率材料，减少真空系统中气体释放的影响。
 ● 精确真空控制
 配备真空度传感器和自动控制阀，实现精确的真空度调节和稳定控制。
 ● 多功能测试模式
 支持真空、惰性气氛、反应气氛等多种测试模式，灵活适应不同实验需求。
 ● 原位脱气功能
 特别适合材料的原位真空脱气处理，可研究脱气动力学过程。


三、技术特点

超高真空度：极限真空度可达10⁻⁵ Pa以上，采用分子泵或扩散泵系统，真空保持时间长。

真空专用天平：采用真空专用精密天平，在高真空环境下仍保持高灵敏度和高稳定性。

低出气材料：炉腔和关键部件采用低出气率材料，减少真空系统中气体释放的影响。

精确真空控制：配备真空度传感器和自动控制阀，实现精确的真空度调节和稳定控制。

多功能测试模式：支持真空、惰性气氛、反应气氛等多种测试模式，灵活适应不同实验需求。

原位脱气功能：特别适合材料的原位真空脱气处理，可研究脱气动力学过程。


四、技术参数

序号参数项参数值
1温度范围室温~1100/1600/1750℃
2天平灵敏度0.02/0.002μg
3极限真空度10⁻⁵ Pa（分子泵）/10⁻³ Pa（机械泵）
4真空泵配置分子泵/扩散泵+前级泵
5真空度控制全自动真空度调节
6气氛控制真空/惰性气体/反应气体
7泄漏率<10⁻⁸ Pa·L/s
8温度精度±0.5℃


五、应用领域

行业应用场景
■ 航空航天航天器材料脱气、空间环境模拟、真空热循环、材料放气研究
■ 真空技术真空材料评价、真空元件测试、真空获得材料、真空密封材料
■ 电子器件半导体材料处理、电子器件脱气、真空封装研究、元器件可靠性
■ 薄膜材料薄膜沉积研究、真空镀膜材料、薄膜热稳定性、界面反应研究
■ 材料科学真空热分解、材料脱气机理、真空烧结研究、新材料真空性能
■ 核工业核材料真空性能、放射性物质处理、真空安全壳、核级材料测试
■ 光学元件光学镀膜材料、光学镜片脱气、真空镀膜研究、光学性能评价
■ 科研领域真空基础研究、材料真空行为、反应机理研究、标准方法建立

上一个产品：热重-红外-质谱联用分析仪.

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